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1.Int duction, Systèmes, 2.Lithographic et d`illumination,, 3.Resist Technology, 4.Modeling & Simulations,, 5.Resolution perfectionnement de la technologie,, 6.Critical Issues and Solutions,, 7.Imagi

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1. Motif de matériaux low-k,, 2. Sortes de matériaux low-k,, 3. Mécanisme de matériaux low-k,, 4. Étude sur SiO2 poreux (Sol-gel),, 5. L`intégration entre les low-k et Cu, 6. Con usion

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1.Conductor Systems En métallisation,, 2.Silicidation,, 3.Diffusion Barrier,, 4.Ai interconnexion,, 5.Cu interconnexion,, 6.Summary