1. Motif de matériaux low-k,, 2. Sortes de matériaux low-k,, 3. Mécanisme de matériaux low-k,, 4. Étude sur SiO2 poreux (Sol-gel),, 5. L`intégration entre les low-k et Cu, 6. Con usion
1. Motif de matériaux low-k,, 2. Sortes de matériaux low-k,, 3. Mécanisme de matériaux low-k,, 4. Étude sur SiO2 poreux (Sol-gel),, 5. L`intégration entre les low-k et Cu, 6. Con usion
1. Motif de matériaux low-k,, 2. Sortes de matériaux low-k,, 3. Mécanisme de matériaux low-k,, 4. Étude sur SiO2 poreux (Sol-gel),, 5. L`intégration entre les low-k et Cu, 6. Con usion