1.Conductor Systems in Metallisierung, 2.Silicidation, 3.Diffusion Barrier, 4.Ai Interconnection, 5.Cu Interconnection, 6.Summary

1.MOSFET Skalierung,,, 2. MOSFET I-V Eigenschaften,,, 3. Short-Channel-Effekte und Schwellenspannung Design

1.MOSFET Skalierung,,, 2. MOSFET I-V Eigenschaften,,, 3. Short-Channel-Effekte und Schwellenspannung Design

1.MOSFET Skalierung,,, 2. MOSFET I-V Eigenschaften,,, 3. Short-Channel-Effekte und Schwellenspannung Design

1.? Q?? T? Τ? R? P ե ??????? T? O 2 .????? q?? T? Τ? R?? ɾ? ?? 3.? Q?? T? Ά? S?? ت? 4.? Q?? T? Τ? �?p? S? 5.? Q?? T? Τ ?????? è��? Τ? R?? K? E? P? ƫ? ? E? P? Q? 6.? W?? W? Q 7.Gauge R & R?

? H @? ? ޲ z ????|? 1? ^? X? ޲ z?? ò���?? ? 2? ^? X??? G? ç��?? H? 3? ^? X? ޲ z? P??? ? HG? ?? D?? ѨM? P? Гy? 4? ^? X?? D? N? ѺP? Гy? O? 5? ^? X ??`??? ˰ Q? P? فخم? 6? ^? X ¾? Ȫ?? T? P?

? @.? ޲ z? ̻POJT? G.? X ????? ݪ? DZ ߻ ݨ D? T.? P? ó��� n? U ?@???? ? |.? p? ó��� n? u ?@???? ?.? p??? OJT?? ?. OJT ??????

? @? B? M? ׺ ޲ z?? ò��� (? 1.? M? ׻ P? M? ׺ ޲ z?? W? Q 2.? M? ׺ ޲ z ????? h? P?? K 3.? M? ת? ͩ R? G ?? κ ޲ z? n? ? G? B? M? ת? W? 1 .?@??? W ?????{? ǨB? J 2.? M? ת?? Ȩ w? Q 3.? M? `W ?

? @? BQC?? K? Ѻ? ? d? ˪? ????? Ϫ k? F? Թ Ϫ k? H? O? K? S? ʭ n?]? Ϫ k?? G? K? ި? Ϫ k? ΦU? ع Ϫ? ? G? B? U?? K? B? Ήɾ? P?? Ι?? ? T? B?? K? T? M